El equipo de nitruración iónica consiste en un reactor de acero inoxidable, con simetría cilíndrica y 14 litros de capacidad. La descarga se realiza entre un disco de acero inoxidable, donde están las probetas, que actúa como cátodo y un cilindro del mismo material que lo rodea y actúa como ánodo. Se aplica al electrodo una tensión negativa, con una descarga con forma de onda cuadrada, de frecuencia regulable (0-1000Hz) y factor de tiempo activo regulable también entre 0 y 100%.

La cámara consiste en un tubo de acero inoxidable de 300 mm de diámetro y 3 mm de pared que tiene soldada una tapa superior del mismo espesor con una ventana de vidrio para observación. La parte inferior tiene soldada una plancha de acero inoxidable de 8 mm, con la misma abertura del tubo pero formando una pestaña que sirve para cerrar con la tapa inferior. Los cierres son con retenes tipo O-Ring colocados en cavidades hechas en las tapas. Por la tapa inferior entran las conexiones para las resistencias y para el ánodo, todos aislados de la cámara.

La calefacción se entrega al electrodo interior (cátodo) a través de un arreglo de resistencias alrededor de él y pantallas reflectoras evitan la pérdida de calor por radiación. Los gases entran todos por un mismo conducto pero el flujo se registra individualmente, y la temperatura se mide con una termocupla que llega por el electrodo hasta la base de las probetas. Un controlador tipo PID mantiene la temperatura en el valor elegido durante toda la duración del experimento.

Un esquema del reactor se presenta en la figura. Los esquemas de los equipos auxiliares de hidrodinámica y de potencia se presentan a continuación.

Las probetas consisten en discos, cortados de una barra, cilindrados a 24 mm y con un espesor de 6 mm. Las mismas se colocan en una cavidad en el electrodo de trabajo, exponiendo al plasma sólo su cara superior, lijada hasta granulometría 1200 y pulida con pasta de diamante.