La microdureza permite medir capas muy delgadas sin romperlas, como es el caso de las capas nitruradas.​

Se utiliza un indentador Vickers tipo piramidal, con cargas entre 25 g y 2 kg. Además de la superficie, también se hacen mediciones en profundidad, para determinar el gradiente de dureza desde la superficie hasta el centro del material.​

El microdurómetro disponible es uno de la marca Shimadzu HV-2, con desplazamiento en los 3 ejes, lo que permite adaptarse a cualquier tipo de muestras.